更新時間：2026-01-08
江崎出售日本CANON ANELVA 電容式膜片真空計 M-342電容式真空計 M-342DG 是一種隔膜式真空計，可通過最小零點調整實現準確、穩定的壓力測量。這是使用小型硅 MEMS 芯片作為壓力傳感器單元來實現的，以最大限度地減少外部環境的影響，例如溫度、振動和大氣壓力的變化。
江崎出售日本CANON ANELVA 電容式膜片真空計 M-342
江崎出售日本CANON ANELVA 電容式膜片真空計 M-342
電容式真空計 M-342DG 是一種隔膜式真空計，可通過最小零點調整實現準確、穩定的壓力測量。
這是使用小型硅 MEMS 芯片作為壓力傳感器單元來實現的，以最大限度地減少外部環境的影響，例如溫度、振動和大氣壓力的變化。
高精度、穩定的壓力測量
?出色的零點穩定性。
?具有低溫依賴性，無需溫度調節機構即可提供出色的穩定性。
調整機制。
?優異的抗振噪聲性能。
緊湊、低功耗
?200g、W46mm × H49mm × L70mm 緊湊、輕便*1
?功耗 0.5W。
*1：聯軸器 NW16 規格的尺寸和重量
| Type | M-342DG | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| -1D | -1N | -11 | -12 | -13 | |
| Full scale pressure (Pa) | 13.33 | 133.3 | 1.333k | 13.33k | 133.3k |
| (Torr) | 0.1 | 1 | 10 | 100 | 1000 |
| Accuracy (% of reading) | 0.20 (at 23℃) | ||||
| Zero temperature drift coefficient (% of F.S./℃) | 0.01 | 0.005 | 0.002 | ||
| Span temperature drift coefficient (% of reading/℃) | 0.01 | 0.005 | |||
| Resolution (％ of Full-scale) | 0.01 | 0.005 | |||
| Lowest Reading (％ of Full-scale) | 0.01 | ||||
| Lowest Suggested Pressure for Reading (％ of Full-scale) | 0.05 | ||||
| Lowest Suggested Pressure for Control (％ of Full-scale) | 0.5 | ||||
| Response time (ms) | 100 | 30 | |||
| pressure limit (Pa) | 200 kPa (absolute pressure) However, 130 kPa (absolute pressure) for M-342DG-1D (for NW16 & NW25, inner area must not be at positive pressure) | ||||
| Input voltage (VDC) | +13.5 - 26.4 | ||||
| Power consumption (W) | 0.5 or less | ||||
| Signal output (VDC) | 0 to 10 | ||||
| Operating temperature (℃) | 0 to 50 | ||||
| Storage temperature (℃) | -20 to 70 (not operating) | ||||
Maximum cable length (m) | 100 (0.3?) | ||||
| Zero points adjustment methods | push switch, remote input | ||||
| Connector type | D-sub 9 pin male (mating screw: #4-40 inch) | ||||
| Materials exposed to vacuum | Si, Glass, SUS304, sus316, Fluorine Rubber | ||||
| Flange shape | NW16, NW25, 8-VCR, φ70ICF | ||||
| Conformity | CE marking, RoHS, IP40 | ||||
| Security Export Control Regulation | Not applicable | ||||
| Display | M-601GC (1ch), M-603GC(3c) |
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