更新時間：2026-01-08
日本CANON ANELVA（熱陰極電離真空計）M-311HG型這是傳感器真空計系列中的離子計。 離子真空計（熱陰極電離真空計）具有良好的重現性和線性性，能夠測量廣泛的壓力，使其成為真空計的出色特性。 該傳感器使用經過驗證的微型儀表（MG-2I 型）。
日本CANON ANELVA（熱陰極電離真空計）M-311HG型
日本CANON ANELVA（熱陰極電離真空計）M-311HG型
這是傳感器真空計系列中的離子計。 離子真空計（熱陰極電離真空計）具有良好的重現性和線性性，能夠測量廣泛的壓力，使其成為真空計的出色特性。 該傳感器使用經過驗證的微型儀表（MG-2I 型）。
壓力測量范圍
寬，可達 10-7 Pa ~ 10 Pa，在不犧牲超高真空側特性的情況下，可測量超出濺射工藝的低真空范圍
高響應模擬量輸出：
帶壓力值的模擬量信號輸出可確保 100 毫秒內的高響應，也可用于過程壓力控制
可以選擇
四種發射電流設置模式以適應應用，例如在高壓區域使用時延長燈絲壽命
| 型 名 | イオンゲージ | |
|---|---|---|
| M-311HG‐SP | M-311HG‐RS | |
| 圧力測定範囲 | 1×10-7 ～ 10 Pa | |
| 入力電圧 | DC20 ～ 28 V | |
| 消費電力 | 12 W | |
| アナログ出力 | 0 ～ 10 V | － |
| セットポイント | 2點リレー出力 | |
| インターフェース | － | RS485 |
| 入出力コネクタ | Dsub-9（Male） | |
| 最大ケーブル長 | 200 m（1 mm2） | |
| 使用溫度範囲 | 5 ～ 50 ℃ | |
| 保存溫度範囲 | -20 ～ 70 ℃ | |
| センサ－型名 | ミニチュアB-Aゲージ（MG-2Iシリーズ） | |
| センサー材質（主要部） | フィラメント:Y2O3/Ir、ケース:SUS304 | |
| 外形寸法 （mm） | 110×70×50 | |
| フランジ形狀 | NW16, NW25, ICF34, ICF70 | |
| 対応 | CEマーキング、RoHS、IP40 |
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