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在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，靜電是一個(gè)需要嚴(yán)格控制的因素，因?yàn)榧词故俏⑿〉撵o電放電也可能損壞敏感的電子元件或?qū)е聣m埃粒子吸附在晶圓表面，從而影響產(chǎn)品的成品率和可靠性。
在整個(gè)半導(dǎo)體制造過(guò)程中都會(huì)產(chǎn)生靜電荷，主要由不同材料的接觸和分離引起。靜電荷通過(guò)三種方式影響生產(chǎn)率和良率，靜電荷會(huì)靜電吸引（ESA）空氣中的顆粒，從而導(dǎo)致晶圓和光罩的潛在良率損失。
日本SIMCO思美高產(chǎn)品在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用主要集中在靜電控制和除靜電設(shè)備方面，以減少生產(chǎn)中的靜電和微粒對(duì)半導(dǎo)體制造過(guò)程的影響。SIMCO思美高的靜電控制和除靜電設(shè)備、離子棒和離子風(fēng)機(jī)等設(shè)備通過(guò)電暈放電產(chǎn)生正負(fù)離子，中和空氣和工作表面的靜電荷，從而減少靜電吸附和放電對(duì)半導(dǎo)體制造過(guò)程的影響。
靜電測(cè)試儀
FMX-004 靜電測(cè)試儀
FMX-004靜電測(cè)試儀是一款緊湊型靜靜電測(cè)試儀，用于定位和測(cè)量靜電荷，其袖珍尺寸和三鍵操作使其使用方便快捷。
特點(diǎn)：
輕巧、緊湊的設(shè)計(jì)
測(cè)距燈確保測(cè)量準(zhǔn)確且可重復(fù)
自動(dòng)量程切換可達(dá) ±30 kV (30,000V)，距離為 1"
帶有 +/- 指示器的數(shù)字和條形圖顯示
不活動(dòng)時(shí)自動(dòng)關(guān)機(jī)
FMX-004還提供用于模擬輸出的可選電纜和支架套件，此功能允許在使用過(guò)程中可提取和監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)。模擬輸出支架可安裝現(xiàn)場(chǎng)儀表，以便連續(xù)采集讀數(shù)。模擬信號(hào)可與 PLC、數(shù)據(jù)采集卡、數(shù)據(jù)記錄器、圖表讀取器等設(shè)備配合使用。
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